猛毒フッ化水素が半導体に不可欠な理由｜骨を溶かす危険性と最新動向

猛毒フッ化水素が半導体に不可欠な理由｜骨を溶かす危険性と最新動向の基本情報から最新動向までを徹底的にカバーしました。

半導体製造で用いられるフッ化水素は、用途や要求される純度によって明確にグレード分けされています。一般的な工業用から最先端微細プロセス用までの違いを以下の表にまとめました。

項目・グレード要求純度・スペック主な用途・加工プロセス主要プレイヤーと市場構造一般工業用フッ酸99%〜99.9%（3ナイン程度）ガラス加工、金属表面処理、エアコン冷媒原料中国・東南アジア等の新興国メーカーが中心（コモディティ市場）液状バッファードフッ酸（BHF）99.9999%以上（6〜9ナイン）レガシー半導体（車載・家電用）、液晶パネルのウエットエッチングステラケミファ、森田化学工業、韓国SoulBrainなどが供給超高純度フッ化水素ガス99.9999999999%（12ナイン）最先端AI半導体・3D NAND・EUV露光対応のドライエッチングステラケミファ、森田化学工業、昭和電工（レゾナック）等、日本勢が寡占リサイクル・回収フッ素再精製により高純度化環境負荷低減、サプライチェーン強靭化のためのクローズドループ日米台の先端ファブ内で再資源化技術の実証が進展